沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司成立于2002年,是由中國科學(xué)院沈陽自動化研究所發(fā)起創(chuàng)立的國家高新技術(shù)企業(yè),專業(yè)從事半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,公司主營產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設(shè)備(涂膠/顯影機(jī)、噴膠機(jī))和單片式濕法設(shè)備(去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)、清洗機(jī))。2019年,芯源微在上海證券交易所科創(chuàng)板上市,成為半導(dǎo)體光刻設(shè)備企業(yè)第一股、遼寧省科創(chuàng)板第一股,綜合實(shí)力位居中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)五強(qiáng)。
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