拓荊科技股份有限公司成立于2010年4月，是國家高新技術企業(yè)，主要從事高端半導體專用設備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與技術服務。公司多次承擔國家重大專項。2016年、2017年、2019年獲評中國半導體行業(yè)協(xié)會授予的 中國半導體設備五強企業(yè) 稱號。公司于2020年在北京、上海、海寧成立三家子公司。
公司主要產(chǎn)品包括等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）設備、原子層沉積（ALD）設備和次常壓化學氣相沉積（SACVD）設備三個產(chǎn)品系列，擁有自主知識產(chǎn)權，技術指標達到國際同類產(chǎn)品先進水平，產(chǎn)品主要應用于集成電路晶圓制造，以及TSV封裝、光波導、Micro-LED、OLED顯示等高端技術領域。公司在北京、上海、武漢、合肥、天津、臺灣等20多個地區(qū)的近40條生產(chǎn)線都設有技術服務中心，為客戶提供每周7天，每天24小時的技術服務
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